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溅射时ITO靶材发生裂纹的原因 

宣布时间:2017/11/16

  1:ito靶材的材质,最主要是冷却效果的优劣,不知道你的冷却条件怎么样,如果不行,就需要改善了。
  2:焊靶时靶块之间要留有漏洞,否则启辉发烧会裂。冷却水要流通,且充实